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 PFA花籃（PFA wafer Cassette） 又名 清洗花藍(lán) ，特氟龍卡匣 ， 特氟龍晶舟盒 ，特氟龍晶圓盒為承載半導(dǎo)體晶圓片/硅片的容器，耐酸耐堿耐腐蝕(強(qiáng)酸、強(qiáng)氟酸、強(qiáng)堿)，能做激光雕刻，能夠安裝RFID。保持載體和物料的跟蹤。

主要用于半導(dǎo)體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。我司PFA花籃，進(jìn)入化學(xué)酸、堿蝕刻制程中，可搭配PFA把手使用。

二、參數(shù)

三、特點(diǎn)

1.耐腐蝕：耐受強(qiáng)酸強(qiáng)堿

2.搭配可活動(dòng)把手，用于晶圓芯片清洗運(yùn)輸

3.耐高低溫：-200~260℃

4.耐絕緣：介電性能與溫度、頻率無關(guān)；

5.防污染：本底值低，金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb；

6.低的溶出和析出，確保晶圓芯片無污染

7.化學(xué)性能穩(wěn)定

公司擁有三十多年P(guān)FA制品生產(chǎn)加工經(jīng)驗(yàn)，公司投入大量人力、物力致力于太陽能光伏相關(guān)產(chǎn)品的研發(fā)，截止目前，公司推出的光伏用--太陽能硅片花籃，太陽能硅片承載器,硅片花藍(lán),,半導(dǎo)體清洗花籃。

產(chǎn)品名稱:2個(gè)″特富龍卡匣 /PFA晶舟盒

尺寸:142.1 (L) * 67.08 (W) * 59 (H)毫米

重量:194.5克

容量:25PCS

晶圓尺寸:2寸(Ø50mm)厚度0.5mm~0.7mm

材料:聚四氟乙烯/ PFA

槽距:4.76毫米

產(chǎn)品名稱:4″特富龍晶舟盒/ PFA卡匣

尺寸:125 (L) * 140 (W) * 113 (H)毫米

重量:571克

能力:25PCS

晶圓尺寸:4寸(Ø100mm)厚度0.5mm~0.7mm

材料:聚四氟乙烯/ PFA

槽距:4.76毫米

產(chǎn)品名稱:6″特富龍卡匣/ PFA晶舟盒

尺寸:179 (L) * 147 (W) * 175 (H)毫米

重量:1045.4克

能力:25PCS

晶圓尺寸:6英寸(Ø150mm)

材料:聚四氟乙烯/ PFA

槽距:4.76毫米

產(chǎn)品名稱:8″特富龍花籃/ PFA晶圓盒

尺寸:233 (L) * 220 (W) * 225 (H)毫米

重量:1407克

能力:25PCS

晶圓尺寸:8英寸(Ø200mm)

材料:聚四氟乙烯/ PFA